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真空度測(cè)試儀測(cè)試原理和檢測(cè)方法
更新時(shí)間:2011-08-30   點(diǎn)擊次數(shù):2008次
  真空度測(cè)試儀試原理將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距,施加脈沖高壓,將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng),這樣在脈沖磁場(chǎng)的作用下,滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,當(dāng)測(cè)知離子電流后,通過離子電流一真空度曲線,由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成真空度的計(jì)算,并顯示真空度值。
  真空度測(cè)試儀傳統(tǒng)的檢測(cè)方法是“耐壓法”,即真空開關(guān)處于開斷狀態(tài)下,在動(dòng)靜觸頭之間施加一定的電壓,檢測(cè)其泄漏電流的大小,由此推斷真空管的好壞。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:操作簡(jiǎn)單;缺點(diǎn)是:只能定性地檢測(cè)真空管的好壞;而且真空度在10-4~10-1Pa之間無法準(zhǔn)確分辨,所以無法判斷泄漏的發(fā)展趨勢(shì)(即同一個(gè)真空開關(guān)和上次相比有多大程度的泄漏)。
  
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